전자 디바이스 분야 차세대 ‘리더’
AD 공정 관련 프로세스 개선, 다양한 응용기술 개발 연구 매진

오종민 광운대 교수는 에어로졸 데포지션(AD;Aerosol Deposition) 공정을 개선하고, 이를 응용한 전자 디바이스 개발 전문가로 알려져 있다.

AD는 상온 상태에서 전기전자재료를 에어로졸 형태로 분사, 기판에 코팅막을 형성하는 전자 디바이스 제작 공정으로, 전자 디바이스 복합체를 기존에 비해 경제적인 비용으로 만들 수 있는 솔루션으로 주목받고 있다.

2002년 일본의 산업기술종합연구소에서 네도프로젝트를 통해 개발된 기술로, 프로젝트에 참여한 오 교수의 은사에게로, 이후 오 교수에게 관련 장비와 기술, 연구가 이어졌다.

“전자 디바이스 제작을 위해 경제성과 효율성, 융복합 가능성 등을 종합적으로 고려해야 합니다. 보다 적은 노력으로, 단순한 프로세스를 통해 큰 퍼포먼스를 내야 하며, 다양한 기술을 융합할 수 있어야 해요. 저는 이 세 가지에 중점을 맞춰 연구를 진행하고 있으며, AD 공정의 가능성이 크다고 보고 관련 프로세스를 개선하는 한편, 응용분야를 발굴·개발하는 연구를 추진하고 있습니다.”

오 교수는 “AD 공정을 활용하면, 재료적으로 세라믹, 메탈, 폴리머 모두 코팅이 가능하다. 기판도 마찬가지며, 가장 큰 장점은 상온 공정이라는 점이다. 재료에 따라 제작 공정이 저온, 상온 등으로 다른데, 상온에서 동시에 복합체를 만들 수 있는 장점이 있다”며 “무엇보다 고속 성막이 가능한데, 이런 장점들을 극대화할 수 있는 방법을 찾고 있다”고 전했다.

이와 관련 오 교수는 ‘나노 재료 및 전자 소자 연구실’을 운영, ▲세라믹 필름 기반 습도 센서 ▲1차원 광결정을 이용한 초소형 광소자 ▲고용량 내장형 필름 캐패시터 ▲유연성 투명 산화물 필름 전극 ▲투명 초소수성 필름 코팅 ▲치과 브라켓 표면 세라믹 미세 패턴 코팅 등 다양한 응용 기술을 연구하고 있다.

특히 환경 센서와 광소자, 캐패시터 등 기술에 대한 니즈가 갈수록 커지는 분야에 역량을 집중하고 있다.

“4차 산업혁명으로 인해 센서의 중요성은 말하지 않아도 누구나 알고 있을 정도가 됐습니다. 일례로 로봇만 봐도 위치센서와 동작센서, 환경센서, 토크센서 등 다양한 센서가 필요해요. 이런 센서들이 모듈화되고 소형화되고, 보다 많은 양이 필요해지게 되는 겁니다. 이 때문에 보다 경제적으로, 높은 퍼포먼스를 내는 센서를 만들 수 있는 공정이 필요하다는 거죠.”

오 교수는 “초소형 광소자도 중요하다. 고속 인터넷에 대한 니즈가 점차 커지고, 관련 기술이 지속적으로 업그레이드되는 상황에서 보다 집적화된 광소자가 요구되고 있다”며 “광소자 제작 시 1차원 광결정을 이용하면 단순한 구조와 제작이 간편하다는 이점이 있다. 기존 프로세스로는 20층 이상으로 두 가지 물질을 번갈아가며 만들어야 해서 시간과 노력이 많이 필요했다. AD의 고속 성막을 활용해 20층 이상 두께의 광결정을 제작하는 기술을 연구하고 있다”고 밝혔다.

“4차 산업혁명을 비롯한 차세대 산업 기술 변화 과정에서 혁신적인 재료의 개발이나 구조를 요구하는 경우가 많아요. 제가 제작 기술을 연구하는 이유는 보다 경제적인 솔루션을 제공함으로써, 산업계가 더 빠르고 쉽게 디바이스를 개발하고 생산하기를 바라서입니다. 제 연구가 보다 좋은 기술을 창출하고, 산업계 발전에 기여할 수 있기를 바랍니다.”

◆프로필

▲광운대 전자재료공학과 학·석사

▲도쿄공업대학교 무기재료공학과 박사

▲삼성전기 LCR사업부 책임연구원

▲광운대 전자재료공학과 조교수

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